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专利摘要显示◆▲-•,本申请提供一种晶圆传送装置●★◇○,用于在真空环境下传送晶圆尊龙凯时人生就是搏平台▼●,包括◁◆=△…:承托件•…☆☆●•,所述承托件包括一体连接的承载部和柄部□▼=••,所述承载部用于承载晶圆-◁▽□△○,且所述承载部设置有多个连接孔▷=◁◇=•;以及所述柄部用于连接动力装置△▪◆;支撑件尊龙凯时人生就是搏平台◇○•□,与所述承载部可拆卸式连接□•◇□,所述支撑件的第一端插入所述连接孔内以及所述支撑件第二端的端面被配置与所述晶圆接触……。当所述晶圆传送装置与晶圆接触的区域发生磨损时○◆,可以通过快速替换的方式更新□•▼,且无需对所述晶圆传送装置进行校准◇•●▲◁。
小米集团▽▼★▷•▪:在中国大陆地区4-★▽◇,000–5◁▼◆☆◆…,中芯北方集成电路制造(北京)有限公司取得一项名为•▼☆•“一种晶圆传送装置○□”的专利◇■●▷▪准尊龙凯时人生就是搏平台中芯北方取得一种晶圆传送装置专利当晶圆,金融界2024年12月20日消息■=•,